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阿斯麦高数值孔径极紫外光刻NXE:5000系列设计已基本完成

编辑/2020-12-29/ 分类:卡斯创业/阅读:
12月29日消息,据国外媒体报道,阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机之后,他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。 阿斯麦极紫外光刻机 在10月14日发布的三季度财报中,阿斯麦就披 ...

12月29日消息,据国外媒体报道,阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机之后,他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。

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阿斯麦极紫外光刻机

在10月14日发布的三季度财报中,阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机TWINSCAN NXE:3600D,计划在明年年中开始出货,生产效率较目前的产品提升18%。

而从外媒的报道来看,除了NXE:3600D,阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机NXE:5000系列,设计已经基本完成。

外媒在报道中也表示,虽然阿斯麦NXE:5000高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成,但商用还需时日,预计在2022年开始商用。

作为一款高数值孔径的极紫外光刻机,NXE:5000系列的数值孔径,将提高到0.55,阿斯麦目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机,数值孔径为0.33。

值得注意的,在阿斯麦高数值孔径的极紫外光刻机方面,月初也出现过相关的消息。

在月初报道CEO彼得·维尼克等阿斯麦高管,到访三星电子并参观三星电子的半导体工厂时,外媒表示三星希望获得阿斯麦更多的极紫外光刻机、先于台积电获得高数值孔径极紫外光刻机。

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